|
Оборудование
Ваш запрос помещен в раздел "Ваши запросы". После окончания отбора Вы сможете запросить подробную информацию, коммерческое предложение, договор или счет по отобранной
Вами продукции
EVG540 Автоматическая система сварки пластин
Автоматическая система сварки пластин EVG540 с одной сварочной камерой предназначена для серийного и крупносерийного производства, но также может применяться для научно-исследовательских целей в области сварки пластин, выполнении 3D межсоединений и МЭМС применений.
Уникальные характеристики:
- Автоматическое перемещение до 4-х держателей для сварки
- Минимальное участие оператора
- Модульный дизайн сварочной камеры (совместимость с сиcтемой GEMENI)
- Соответствие высоким стандартам безопасности
- Двухсторонне охлаждение с верхней и нижней стороны
Поддерживаемые процессы сварки:
- Анодная сварка
- Термокомпрессионная сварка (стеклоприпой, эвтектика, металлическая диффузия, сварка с использованием полимерного клея)
- Сварка сплавлением или непосредственная сварка кремниевых пластин
|
Технические характеристики |
EVG®510 |
EVG®520IS
|
EVG®540
|
EVG®560 |
GEMINI |
|
|
|
|
|
|
|
Размер нагревателя=макс. размеру обраб. пластины |
150 мм |
* |
* |
* |
* |
* |
|
200 мм |
* |
* |
* |
* |
* |
|
300 мм |
|
* |
* |
* |
* |
|
Мин. размер обраб. пластины/подложки |
С 150 мм нагревателем |
Одиночные кристаллы |
Одиночные кристаллы |
50 |
50 |
50 |
|
С 200 мм нагревателем |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
|
С 300 мм нагревателем |
|
|
200 |
200 |
200 |
|
Система совмещения и фиксации пластин |
С 150 мм нагревателем |
EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView |
EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView |
EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView |
EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView |
SmartView |
|
С 200 мм нагревателем |
EVG6200, IQ, SmartView |
EVG6200, IQ, SmartView |
EVG6200, IQ, SmartView |
EVG6200, IQ, SmartView |
SmartView |
|
С 300 мм нагревателем |
|
|
IQ, SmartView |
IQ, SmartView |
SmartView |
|
Максимальное контактное усилие |
3.5 кН, 7кН, 10кН |
3.5 кН, 7кН, 10кН, 40кН, 60кН |
|
Максимальная температура |
550оС (650оС опционально) |
550оС (600оС опционально) |
|
Вакуум |
1*10-3 мБар (стандартно), 1*10-5 мБар (опционально), дополнительные линии подачи газа (опция) |
|
Электропитание для процесса анодной посадки |
0-2000В/50мА |
|
Загрузка пластин в камеру |
ручная |
ручная |
3-осный робот |
5-осный робот |
5-осный робот |
|
Полная программная совместимость с системой GEMINI |
* |
* |
* |
* |
* |
|
Максимальное количество камер сварки пластин |
1 |
2 |
1 |
от 4 до 10 |
от 4 до 10 |
|
Область применения |
Опытно-конструкторское производство |
|
|
|
|
|
Мелкосерийное производство |
|
|
|
|
Крупносерийное производство |
|
